硅基半导体材料是目前产量最大、应用最广的半导体材料。按照2017年全球集成电路销量来看，有85%的销售额来自硅衬底材料，依然为主导和核心地位。
什么的单质晶体是应用最广泛的半导体材料？硅(Si)是较早且也是应用最为广泛的半导体材料。最早半导体晶体管采用的是锗(Ge)基材料， 但是由于Ge储量少、提纯难度大等原因，逐步被Si所替代。Si 因为储量丰富、技术成熟、成本 低等特点，成为应用最广的半导体材料，目前广泛被应用在各类分立器件和集成电路、电子信息网络工程等领域。
锗与硅，做半导体材料，各自的优缺点？先说说硅：作为现在最广泛应用的半导体材料，它的优点是多方面的。
1）硅的地球储量很大，所以原料成本低廉。
2）硅的提纯工艺历经60年的发展，已经达到目前人类的最高水平。
3）Si/SiO2 的界面可以通过氧化获得，非常完美。通过后退火工艺可以获得极其完美的界面。
4）关于硅的掺杂和扩散工艺，研究得十分广泛，前期经验很多。
不足：硅本身的电子和空穴迁移速度在未来很难满足更高性能半导体器件的需求。氧化硅由于介电常数较低，当器件微小化以后，将面临介电材料击穿的困境，寻找替代介电材料是当务之急。硅属于间接带隙半导体，光发射效率不高。
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锗：作为最早被研究的半导体材料，带给我们两个诺贝尔奖，第一个transistor和第一个IC。锗的优点是：
1）空穴迁移率最大，是硅的四倍；电子迁移率是硅的两倍。
2）禁带宽度比较小，有利于发展低电压器件。
3）施主/受主的激活温度远低于硅，有利于节省热预算。
4）小的波尔激子半径，有助于提高它的场发射特性。
5）小的禁带宽度，有助于组合介电材料，降低漏电流。
缺点也比较明显：锗属于较为活泼的材料，它和介电材料的界面容易发生氧化还原反应，生成GeO，产生较多缺陷，进而影响材料的性能；锗由于储量较少，所以直接使用锗作衬底是不合适的，因此必须通过GeOI（绝缘体上锗）技术，来发展未来器件。该技术存在一定难度，但是通过借鉴研究硅材料获得的经验，相信会在不久的将来克服。
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